首页 装修资讯 西安电子工场高级别干净厂房装修的建造特点 西安电子工场高级别干净厂房装修的建造特点 http://www.jiaju82.com 2024年10月14日16:11 家居装修资讯

电子工场出产工艺对受控情况的要求

电子工场如年夜范围集成电路(LSI)、超年夜范围集成电路(VLSI)等微电子(IC)工场;液晶显示器(LCD)、彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、等离子显示器(PDP)和发光二极管(LED)、有电机致发鲜明示器(OLED)、高份子有电机致发鲜明示器(PLED)等光电子工场都离不开干净的出产情况。出产所要求的情况不但唯一:建筑围护、布局、空气、水和气体、溶剂等原材料，并且还声、光、电、磁、振等各类情况。例如:建筑的情势和层高、布局的承重、围护布局的装修材料;情况空气的干净度、温湿度、静压力;水和蔼体的纯度和粒子、重金属的含量和情况的噪声、照度、静电、电磁屏障、微振等等。总的来讲，电子工场出产工艺对情况的要求可用年夜、净、精、纯、严五个字来形容。

年夜:出产工艺要求干净室的面积愈来愈年夜。就拿彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)出产用干净室的面积来讲，5代TFT出产用干净室的面积约28000m2;6代TFT干净室的面积约40000m2;到了8代TFT出产用单间干净室的面积就年夜到80000m2以上。

净:电子工场，特别是微电子(IC)前工序和光电子(TFT-LCD)前工序的干净室对情况干净度的要求愈来愈净。例如，12时园片超年夜范围集成电路前工序光刻间的干净度要求高达1级(0.1um)也就是每立方英尺空气中≥O.1um的粒子数不克不及跨越1颗。相当在ISO1级。

精:电子工场出产工艺对情况空气温、湿度的节制精度要求愈来愈精。还以上述微电子的光刻间为例:其温度精度为士0.1℃，相对湿度的精度为士3%。

纯:年夜范围集成电路前工序对出产用的高纯水、高纯气体和高纯溶剂的纯度要求愈来愈纯。例如:对高纯水而言，不但对其电阻率有要求，并且对高纯水中所含粒子、细菌、重金属和其他元素的离子成分都有严酷的要求，跟着出产工艺的成长，对其纯度的要求也愈来愈高。可谓纯之又纯。

严:电子工业出产不但对情况的干净度，温、湿度有严酷的要求，同时对情况的声(噪声)、光(照度)、电(静电)、磁(电磁场屏障)、振(微振)等都有严酷的要求。特别微电子出产，对情况的份子级污染提出了新的严酷的要求。份子污染是指情况空气中要严酷节制例如钠(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等对半导体工艺有害的元素。是以在处置空气时还要用淋水(淋自来水、淋纯清水)来接收室外空气中的有害份子成分和用化学过滤器来吸附新风中的有害份子成分。

电子工场高级别干净室多采取夹杂流干净室

为了下降干净室的建造初投资和运行能耗，电子工场的高级别干净室一般把ISO 1级~ISO 5级如许高净化级此外垂直单向流用在工艺出产最主要、最要害的部位，用年夜面积的非单向流(ISO 6级~ISO 8级)替换年夜面积的单向流，也就是把垂直单向流与非单向流组合在一个干净室内，组成夹杂流干净室。

夹杂流干净室的净化空调系同一般采取新风机组(MAU)加风机过滤器机组(FFU)加干冷盘管(DC)的送风方案。当前国表里微电子、光电子等年夜面积的出产厂房普遍采取的夹杂干净室，具有调理便利、节能显著、矫捷性强，顺应电子工业工艺的更新换代，又能节能非出产面积和非出产空间等长处，是最好的空气处置方案和最优异的送风系统。

方案中的新风机组(MAU)有五年夜使命:

(1)新风机组要有保持干净室内的正压和弥补工艺装备排风的足够新颖空气量，以避免外面污染空气的渗透。一般环境新风量应当等在干净室的排风量加上保持室内正压的渗漏风量之和。

(2)新风机组要能确保干净室内严酷要求的相对湿度。是以夏日新风机组要有足够的降温去湿能力，在冬季还要求必然的加湿手段。

(3)新风机组内要设置多级过滤器(粗效、中效、高效过滤器)以庇护FFU终真个超高效过滤器。

(4)新风机组要能接收和吸附室外年夜气内里的有害气体成分，以消弭新风中的份子污染。为此，新风机组内还应设置淋水室以接收N、S、等有害的元素。淋水室有一级淋水和两级淋水(一级淋自来水、二级淋纯清水)，同时还要设置化学过滤器(活性炭过滤器)用以吸附新风中的有害份子成分。

(5)在黄河以北，特别是我国的东北地域，在冬季室外空气温度在零下十几度或几十度。是以，新风机组在北方需要斟酌防冻预热的办法。

方案中的风机过滤器机组(FFU)就是包管干净室内高级此外干净度。FFU中的过滤器按照干净度的要求，可采取高效过滤器(H14)或超高效过滤器(U15、U16、U17)。

对FFU机能的要求:

(1)FFU出风的断面风速v≥O.45 m/s;断面风速的平均度应为士15%。

(2)FFU的机外余压应≥120 Pa。

(3)FFU的机外噪声应≤50 dB(A)。

(4)FFU的风机寿命应为5000~8000小时。

方案中的干冷盘管(DC)是包管干净室内各区域的温度和其精度的主要装备。

对干盘管(DC)的要求:

l、空气经由过程干盘管的阻力 40

2、经由过程干盘管的水初温应比干净室内空气露点温度高1℃~2℃。

3、干盘管设置时可竖放或斜放，但不成程度设置。

4、干盘管下部还应设置不锈钢的滴水盘和排水系统。

3电子工场高级别干净室的建造费用很是高

一般来讲，4级(10级)、5级(100级)垂直单向流干净室，其室内的建筑装修(墙、顶、高架地板、门窗等)，净化空调系统(制冷和空调装备、净化FFu、管道、配件、自控等)加起来的初投资年夜约为15000元/m2-20000元/m2，假如加上纯水制备、纯水系统、高纯气系统、废气排放系统、废水排放系统、消防系统、供配电系统、真空打扫系统等装备和管线，其单元面积的初投资可高达30000元/m2-40000元/m2。

以1998年建成投产的上海某超年夜范围集成电路前工序的干净室来讲，其8时园片的月投片为30000片，中间部门干净室面积为10000 m2。此中3级(1级)、4级(10级)垂直单向流净化面积为4000 m2;6级(1000级)、7级(10000)非单向流净化面积和6000 m2。总净化送风量为6,400，000 m3/h。除土建之外的初投资约6000万美元，折合每平方米面积的初投资为6000美元/m2。

还2007年完工投产的深圳某TFT基板出产线，干净室共800 m2。此中3级(1级)干净室200 m2，4级(10级)干净室600 m2，除土建布局之外干净室的建筑装修、冷冻、空调、净化、纯水、纯气、废水、废气、供配电、自控等装备和管线的总投资为3200万元，折合每平方米面积的初投资约40000元/m2。